Các hạt nano ZnO:Mn được chế tạo bằng phương pháp nhiệt thủy phân. Sự ảnh hưởng của nhiệt độ oxy hóa (từ 500 đến 900 ⁰C) và nồng độ Mn pha tạp lên tính chất quang của các hạt nano ZnO:Mn đã được nghiên cứu. Hình thái bề mặt, kích thước hạt, thành phần nguyên tố, cấu trúc và tính chất quang của mẫu được phân tích bằng kính hiển vi điện tử quét (FESEM), phổ nhiễu xạ tia X (XRD), phổ tán sắc năng lượng tia X (EDX) và phổ huỳnh quang. Kết quả khảo sát ảnh FESEM chỉ ra rằng các hạt nano chế tạo được có dạng gần cầu, có kích thước từ 20-100 nm và được hình thành ngay khi được ủ ở nhiệt độ thấp (75 ⁰C).  Mẫu nhận được là tinh thể ZnO đơn pha và có cấu trúc wurtzite. Khi pha tạp Mn vào mạng nền ZnO, kết quả khảo sát XRD cho thấy, mặc dù cấu trúc tinh thể của hạt cầu ZnO không thay đổi nhưng hằng số mạng của vật liệu đã thay đổi dẫn tới sự dịch chuyển của các đỉnh nhiễu xạ về phía góc nhiễu xạ nhỏ. Kết quả đo phổ huỳnh quang của mẫu ZnO và ZnO:Mn ở nhiệt độ thấp chỉ ra rằng có sự tương tác rất mạnh giữa obitan d-Mn với trạng thái sp-ZnO. Trên cơ sở các kết quả nhận được, chúng tôi cho rằng đã có sự thay thế ion Mn²⁺ vào vị trí ion Zn²⁺ vào mạng nền ZnO.